Электронный кинескоп сканирования нити вольфрама (SEM) |
| A63.7006 | A63.7015 |
Разрешение | 15nm@30KV (SE) | 5nm@30KV (BSE) |
Увеличение | 20x~60000x | 20x~150000x |
Электронная пушка | Пре-центризованный патрон нити вольфрама, система напряжения смещения автоматическая |
Напряжение тока | Ускоряя ход напряжение тока 1KV к 30KV, Шаги 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 |
Система объектива | 2-ступенчатый электромагнитный объектив конденсатора, электромагнитные линзы объектива 1-Stage |
Апертура | - | Регулируемая диафрагма радужки 30/50/50/100um, луч изменения Electro для того чтобы получить высокое изображение разрешения |
Система вакуума | Роторный насос, 100Liters/min Насос Turbo молекулярный, 70Liters/sec Насос вниз с управления <3 Minutes="">вакуума Ttime полностью автоматического |
Детектор | SE: Детектор вторичного электрона |
BSE: Детектор отраженного рассеяния (опционный) |
EDS: (Опционный) |
Этап образца работая | система 3 осей, x, Y-osь: 35mm/R-ось: 360° | 5-axis система, x, Y-osь: 35mm/R-ось: 360°, z: 0~22mm/Наклон-ось: 0~45° |
Максимальный образец | 70mm в диаметре, 30mm в высоте | 80mm в диаметре, 35mm в высоте |
Перенос изображения | X, перенос изображения ±150um y |
Система сканирования изображения | Быстрая развертка: 320x240 (время развертки: 0,1 sec.) Медленная развертка: 640x480 (время развертки: sec 3.) Режим 1 фото: 1280x960 Режим 2 фото: 2560x1920 Режим 3 фото: 5120x3840 |
Формат изображения | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
Автоматическая функция | Автоматическое начало, автоматический фокус, автоматическая яркость/контраст |
Дисплей фото | Увеличение, тип детектора, ускоряя ход напряжение тока, вакуумирует режим, логотип (текст), дату & время, отправляет SMS отметке, Адвокатуре масштаба, etc. |
Компьютер & программное обеспечение | Система выигрыша 10 рабочей станции ПК, с профессиональным программным обеспечением анализа изображения полно для того чтобы контролировать всю деятельность микроскопа SEM, спецификация отсутствие более менее чем взаимо- I5 3.2GHz компьютера, 4G память, 24" монитор IPS LCD, 500G жесткий диск, мышь, клавиатура |
Размер & вес | Тело микроскопа 460x600x950mm, полный вес 95Kg |
Стандартные инструменты A63.7006, A63.7015 & части оборудуют |
1 | Pre центризованная нить вольфрама | 5 ПК/коробка |
2 | Dia этапа образца. 15mm | 10 ПК |
3 | Dia этапа образца. 25mm | 10 ПК |
4 | Dia этапа образца. наклон 45° 15mm | 5pcs |
5 | Dia этапа образца. наклон 15mm 90° | 5pcs |
6 | Мастер высоты стандартный | 1 ПК |
7 | Разводной гаечный ключ | 1 набор |
8 | CD программного обеспечения SEM | 1 ПК |
9 | Лента углерода проводная) | 1 ПК |
10 | Ножницы | 1 ПК |
11 | Aurilave | 1 ПК |
12 | Щипчики | 1 ПК |